纳米定位平台

特色

纳米定位平台 ，拥有高稳定结构设计，纳米级伺服控制水平，并搭配软件方案，提升整体设备精度，完美呈现机、电、软件高度整合力，满足半导体设备提升需求。

● 纳米级定位：适用高阶精密检测仪器，达成各项精细检测任务，符合产业应用持续升级趋势。

● 稳定运动控制：拥有完整路径规划功能，搭配自动调适，展现稳定运动控制，发挥极致动态性能。

● 智能制造：透过智能模块即可轻松实现稳定制程，减少非预期停机损失。

● 整合关键技术：透过各项软、硬件技术提升、整合，降低使用者设备升级之成本压力。

纳米级位置稳定度   ±2 nm

速度平稳控制 @100 mm/s   ±0.1%